理学磁流体密封在清洁/真空机器人等多种用途中,积极致力于满足广大客户的需求
长期以来,理学已经成为全球知名CVD设备制造商的主要供应商。
理学磁流体密封理学的磁流体密封件在太阳能电池、触控面板和平板显示器所需的生产透明导电膜和抗反射膜的溅射设备上
使用理学独创的技术,抑制共振,实现高速旋转。 即使在高温、高真空和高负载规格下,它也具有长寿命,能把轴的摇摆跳动达到最小。
为了提升超过φ300mm晶体的铸锭,MCZ方式、尖端磁场(Cusp magnetic field)方式等需要强大的磁场力,
搬运晶片和液晶玻璃时,或旋涂机等的瞬间高速旋转时,可以牢固地吸附样品而不会损坏样品。
蚀刻设备使用的规格和加工方法种类繁多,活性气体、高温、高速旋转、等离子、电极、离子素、强磁场、漏磁等。传统的的磁流体密封很难全面支持和对应。
因为理学磁流体密封构造的独特性、在气体的循环加压和导入搅拌上受到广大用户的广泛采用。理学独特的磁密封结构的旋转轴具有钢性强,高负载和高扭矩传输等优点。