蚀刻设备使用的规格和加工方法种类繁多，活性气体、高温、高速旋转、等离子、电极、离子素、强磁场、漏磁等。传统的的磁流体密封很难全面支持和对应。
理学的磁流体密封装置为能够早日解决以上问题，和广大用户一起在持续不懈的进行技术研发。
其它型号：
G1B-B无水冷（轴径≤8）
G1B-B带水冷（轴径≤10）
G2B-B无水冷（轴径≤8）
G2B-B无水冷（轴径≤10）
FRB-B（轴径≤8）连电机
FRB-B水冷（轴径≤10）连电机
LSB-B（轴径≤8）无水冷
ESB-B（轴径≤8）无水冷
KMB-B（轴径≤10）无水冷
G1B-C（轴径≤25）带水冷
G1T-B（中空型）带水冷
NFT-B（中空型）无水冷
磁流体在蚀刻设备中的应用
