长期以来,理学已经成为全球知名CVD设备制造商的主要供应商。 经过长时间的技术研发和试验,研制出在高温条件下也不产生气体的新型磁性流体。这种新型磁性流体和理学磁流体密封的的独自结构相结合,成功的为CVD装置提供了长寿命的磁性流体密封。
另外,通过精密的加工和熟练的组装技术,能保质保量的提供运转稳定均衡磁流体密封,对生成膜厚度的均一化做出了贡献。
G1B-B无水冷(轴径≤8)
G1B-B带水冷(轴径≤10)
G2B-B无水冷(轴径≤8)
G2B-B无水冷(轴径≤10)
FRB-B(轴径≤8)连电机
FRB-B水冷(轴径≤10)连电机
LSB-B(轴径≤8)无水冷
ESB-B(轴径≤8)无水冷
KMB-B(轴径≤10)无水冷
G1B-C(轴径≤25)带水冷
G1T-B(中空型)带水冷
NFT-B(中空型)无水冷