提供耐高温・活性气体的磁性流体密封

长期以来,理学已经成为全球知名CVD设备制造商的主要供应商。 经过长时间的技术研发和试验,研制出在高温条件下也不产生气体的新型磁性流体。这种新型磁性流体和理学磁流体密封的的独自结构相结合,成功的为CVD装置提供了长寿命的磁性流体密封。


另外,通过精密的加工和熟练的组装技术,能保质保量的提供运转稳定均衡磁流体密封,对生成膜厚度的均一化做出了贡献。


适合CVD设备的磁流体密封

由于CVD设备经常使用腐蚀性气体,我们推荐悬臂FMB-C悬臂G1B-C悬臂G1T-C,它们在工艺侧没有轴承。
此外,根据工艺,我们会考虑使用相对应的零件和材料,因此请随时与我们联系。




其它型号:

    10C.pngG1B-B无水冷(轴径≤8)

    27C.pngG1B-B带水冷(轴径≤10) 

    50C.pngG2B-B无水冷(轴径≤8)

    100C.pngG2B-B无水冷(轴径≤10)

    120C.pngFRB-B(轴径≤8)连电机

    200C.pngFRB-B水冷(轴径≤10)连电机

    320CA.pngLSB-B(轴径≤8)无水冷

    320CA.pngESB-B(轴径≤8)无水冷

    320CA.pngKMB-B(轴径≤10)无水冷

    320CA.pngG1B-C(轴径≤25)带水冷

    320CA.pngG1T-B(中空型)带水冷

    320CA.pngNFT-B(中空型)无水冷

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